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• 박막 기술, 薄膜技術, thin film technology

  단원자층으로부터 수 ㎛ 두께를 가진 막의 처리 기술. 집적 회로(IC)의 전극 배선, 배선 간의 절연 및 저항체 제조 등에 사용되며 박막의 제작과 응용을 종합한 기술을 말한다. 집적 회로의 박막 제작법에는 진공 증착법, 스파터링(Sputtering : 금속판에 아르곤 등의 불활성 원소를 부딪쳐서 금속 분자를 쫓아낸...